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HNPM高性能泵在晶圓鍵合涂層設(shè)備的應(yīng)用案

點(diǎn)擊次數(shù)：2378 更新時(shí)間：2022-08-15

德國HNP Mikrosysteme(下文簡稱為“HNPM”)公司專注研發(fā)，制造和銷售微型齒輪微量泵。該泵能快速、精準(zhǔn)輸送填充微量液體，并成熟應(yīng)用與生命科學(xué)和分析儀器領(lǐng)域、機(jī)械和微型工程、化學(xué)和制藥工藝工程等領(lǐng)域。HNPM公司還提供開發(fā)配料系統(tǒng)的客戶定制服務(wù)。

HNPM微環(huán)形齒輪泵主要產(chǎn)品：

HNPM高性能泵、HNPM低壓泵、HNPM惰性密封泵、HNPM模塊泵、HNPM磁性密封齒輪泵5大系列。

HNPM高性能泵mzr-7205在晶圓鍵合涂層設(shè)備的應(yīng)用案例：

SUSS MicroTec集團(tuán)ACS200 GEN3自動涂布機(jī)既包含大量的創(chuàng)新設(shè)計(jì)，又結(jié)合了Gamma和ACS200Plus平臺的最佳優(yōu)點(diǎn)。最多能夠配備4個(gè)涂膠顯影模塊和19個(gè)冷熱板，非常適合大規(guī)模生產(chǎn)。該平臺具有的模塊配置靈活性，其技術(shù)不僅可以滿足先進(jìn)封裝、MEMS和LED等應(yīng)用要求，同時(shí)也適合研發(fā)和大規(guī)模生產(chǎn)的需求。在這個(gè)平臺上使用HNPM高性能泵mzr-7205，實(shí)現(xiàn)了高精度、低脈動、低體積劑量，介質(zhì)是丙酮與光刻膠。

SUSS選用HNPM高性能泵mzr-7205的要求：

?低脈動、可重復(fù)的體積流量。

?體積流量與線速度的動態(tài)適應(yīng)性。

?緊湊型計(jì)量泵

?集成微控制器

?控制系統(tǒng)的簡單集成

HNPM高性能泵mzr-7205特點(diǎn):

HNPM高性能泵mzr-7205的流量范圍為0.048-288 ml/min，HNPM高性能泵mzr-7205的主要特點(diǎn)高精度、低脈動、低體積劑量（即使是非潤滑液體）或高壓、緊湊設(shè)計(jì)和集成微控制器。HNPM高性能泵mzr-7205允許在較寬的粘度范圍內(nèi)給藥，并顯示出較小的經(jīng)濟(jì)尺寸。HNPM高性能泵mzr-7205以工業(yè)生產(chǎn)和工藝技術(shù)應(yīng)用為主。HNPM高性能泵mzr-7205設(shè)計(jì)用于連續(xù)輸送和離散劑量的水、水溶液、溶劑、甲醇、油、潤滑劑、粘合劑、油墨和油漆以及其他高粘度液體。

HNPM高性能泵其他型號：

mzr-2505、mzr-2905、mzr-4605、mzr-7205、mzr-11508等

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